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热式气体质量流量计

控制精度高,精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快,响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术,使产品具有压力不敏感特性,能够适用较大的气源压力波动。
• 仪表采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题,实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理,完全符合SEMI标准要求。
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气体质量流量计可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。最大量程达2000SLM。

特点

• 高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 国际标准机械接头

气体质量流量计技术参数

项目

60B

60BM

60G

60GM

流量规格

300,500,750,1000,1500,2000SLM

300,500,750,1000,1500,2000SLM

准确度

± 2% F.S.

± 2% F.S.

线性

±1% F.S.

±1% F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

±0.2%F.S.

响应时间

< 10  sec

< 10  sec

工作压差范围

(0.25 ~ 0.5) MPa (≤1000SLM)
(0.4 ~ 0.6) MPa (>1000SLM)

<0.2 MPa

(0.25 ~ 0.5) MPa (≤1000SLM)
(0.4 ~ 0.6) MPa (>1000SLM)

<0.2 MPa

最大工作压力

0.6MPa

0.6MPa

耐压

3 MPa

3 MPa

工作环境温度

5~ 45 ℃

5~ 45 ℃

输入信号

 0 ~ 5.00 V (输入阻抗大于 100K)

 4~20 mA 或 1~5 VDC

输出信号

0V ~ 5.00 V (输出电流≤3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

阀的类型

常闭

常闭

电源

+15V 50 mA
-15V 200 mA

+15V 50 mA
-15V 50 mA

+24VDC 400 mA

重量

6 kg

5 kg

6 kg

5 kg